据ACMI了解,10月11日,金石氟业汉芯科技年产2万吨UP级、5000吨G5级超高纯电子级氢氟酸正式投入试生产。
福建省建阳金石氟业有限公司在建阳经济开发区分期投资建设“含氟系列产品生产建设”项目,计划总投资10亿元,产品包括5万吨电子级氢氟酸、1万吨高纯氟化氢铵、200吨六氟丁二烯、200吨全氟丁基磺酰氟、200吨全氟丁基磺酸钾、0.2万吨氟氮混合气、0.6万吨氟化氢吡啶等含氟高端精细产品。
福建省建阳金石氟业有限公司成立于2001年,系福建省著名的氟化工生产单位,目前主要生产无水氟化氢、工业级氢氟酸、光伏级和EL级电子级氢氟酸、全氟丁基磺酸钾和磺酰氟、电子级氟化铵溶液、高纯氟化氢铵等产品。
电子级氢氟酸是湿电子化学品中的一种,主要应用在集成电路、液晶显示器、太阳能光伏、LED制造等工艺中。电子级氢氟酸可被分为EL、UP、UP-S、UP-SS、UP-SSS等级别,其中UP-SSS级别(相当于SEMI G5质量标准,金属杂质要求≤10ppt)的氢氟酸纯度最高,是12寸晶圆及更高规格的电子半导体产品制造环节必须用到的关键材料。
其中,太阳能电池领域所需的湿电子化学品等级集中在G1级,显示面板领域对湿电子化学品的等级主要集中于G2至G3级,集成电路领域对湿电子化学品的等级要求最高需达到G3至G5级。
通常,半导体用电子级氢氟酸需要达到G4及以上水平。目前最高纯度的半导体级氢氟酸的生产技术和供给主要被Stella、大金、森田化学等日企所掌握。三家日企控制着全球最高纯半导体级(UPSS及以上)氢氟酸产能的近90%,具备极强的技术优势,占绝对的主导地位。
根据SEMI标准来看,我国大多数湿电子化学品等级在SEMIG1至SEMIG2,部分企业在单一产品上达到SEMIG3级别,只有少数企业个别产品达到SEMIG4及以上级别。
据不完全统计,我国电子级氢氟酸生产企业约二十家,产品级别集中在UP-S及以下,能够达到半导体所用G5级的企业仅有几家,其中已投产的主要是多氟多、湖北兴力电子、中巨芯、滨化股份、德尔科技等。
台湾侨力化工是少数100%自主拥有纯化10ppt(G5)氢氟酸技术的企业,拥有约6万吨/年G5等级、6000吨/年G3等级电子级氢氟酸的生产能力,位居世界前列。
多氟多是国内首批突破UPSSS级(G5级别) 氢氟酸生产技术并具备相关生产线的企业,也是全球为数不多能生产高品质半导体级氢氟酸的企业之一,已成功打入德州仪器、韩国三星、长鑫存储、台积电的供应商体系。目前,多氟多拥有电子级氢氟酸产能6万吨/年,其中半导体级为2万吨/年,年产3万吨超净高纯电子级氢氟酸(G5级别)二期项目已全面开工,将陆续投产。
滨化股份电子级氢氟酸项目于2018年7月开始试生产,产品达到G5等级要求。目前,滨化股份电子级氢氟酸产能为6000吨/年,已成功打入韩国市场。
湖北兴力电子是兴发集团成员企业,引进台湾侨力公司电子级氢氟酸等技术,在园区建设3万吨/年电子级氢氟酸项目,该项目一期于2021年上半年投产,产能为1.5万吨/年,产品可以达到G5级别,已通过国内外部分高端市场客户的测试,实现批量供应。另外,该项目二期1.5万吨/年电子级氢氟酸正在建设当中。
中巨芯是巨化股份旗下公司,其3万吨/年ppt电子级氢氟酸扩建装置于2022年顺利投料试车,产品达到G5级别。中巨芯是国内少数能够稳定批量供应12 英寸1Xnm(10-20nm) 制程的集成电路制造用电子级氢氟酸的企业之一。
德尔科技通过福建天甫在上杭蛟洋工业园区建设年产36万吨半导体级电子材料项目,产品包括超净高纯电子级氢氟酸、硫酸等十几种SEMI G5级湿电子化学品。目前,天甫G5级电子级氢氟酸已经量产,正在进行芯片制程测试及半导体客户导入。
另外,根据相关信息,浙江森田新材料有限公司电子级氢氟酸也已达到G5级别。
据ACMI了解,国内电子级氢氟酸行业低端产品已经产能过剩,已陷入较为严重的同质化竞争,而G4及以上产品产能严重不足,另外,大量新企业加入该行业,市场竞争格局也在不断变化中,企业需要通过提高技术含量和产品性能的手段来实现差异化竞争。